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溫度和半導(dǎo)體襯底摻雜濃度對MOSFET閾值電壓的影響

2017-09-07 09:08:10 

MOSFET的應(yīng)用電路中,你會經(jīng)常測量到MOSFET的閾值電壓會隨著半導(dǎo)體襯底摻雜濃度的提高
而增大,而隨著溫度的升高而下降,這是為什么呢?首先我們要先搞清楚什么是 MOSFET的閾值電
壓,在電路中能起什么作用。半導(dǎo)體芯片
MOSFET的閾值電壓就是使半導(dǎo)表面產(chǎn)生反型層(導(dǎo)電溝道)所需要加的柵極電壓。對于n溝道
MOSFET,當(dāng)柵電壓使得 p型半導(dǎo)體表面能帶向下彎曲到表面勢時(shí),即可認(rèn)為半導(dǎo)體表面強(qiáng)反型,因
為這時(shí)反型層中的少數(shù)載流子(電子)濃度就等于體內(nèi)的多數(shù)載流子濃度,即半導(dǎo)體禁帶中央與能
級之差。閾值電壓VT包含有三個(gè)部分的電壓,柵氧化層上的電壓降Vox;半導(dǎo)體表面附近的電壓降
,抵消MOS系統(tǒng)中各種電荷影響的電壓降——平帶電壓VF。

半導(dǎo)體集成電路

在閾值電壓的表示式中,與摻雜濃度和溫度有關(guān)的因素主要是半導(dǎo)體Fermi勢ψB。當(dāng)p型半導(dǎo)體
襯底的摻雜濃度NA提高時(shí),半導(dǎo)體Fermi能級趨向于價(jià)帶頂變化,則半導(dǎo)體Fermi勢ψB增大,從而就
使得更加難以達(dá)到ψs≥2ψB的反型層產(chǎn)生條件,所以閾值電壓增大。當(dāng)溫度T升高時(shí),半導(dǎo)體Fermi
能級將趨向于禁帶中央變化,則半導(dǎo)體Fermi勢ψB減小,從而導(dǎo)致更加容易達(dá)到ψs≥2ψB的反型層
產(chǎn)生條件,所以閾值電壓降低。


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